Технология

Работа с сухим плёночным фоторезистом

1 | Стр. 79 | 199

ЮХа: А разве она может быть на ПП от плотно приложенной маски?
Плотность прилегания - понятие тоже относительное, при нанотехнологиях - то.

 

Согласен.
Но на кухне разговаривать о "нано" смешно. Если собеседники трезвые, конечно.

 

Zandy: Zandy
сегодня, 17:17

ЮХа, а у меня вот к вам вопрос, как к фотографу. Бывают ли в природе и продаже более или менее точечные источники УФ света? Задумывался над этим. Ведь тень от лампы накаливания гораздо четче, чем от такой же лампы,

Есть такая лампочка ! Зовется она ДРШ-100. Ртутно-кварцевая, расстояние между электродами 0.5 мм. Практически точечный источник !

 

Я предлагаю ищущим точечные источники света проделать простой эксперимент: создать тень от иголки при освещении любым источником света. Просто приближайте иголку к поверхности и наблюдайте за тенью.
Далее оставляем иголку на одном расстоянии от поверхности, а двигаем источник вверх - вниз.
И последнее - двигаем источник по горизонтали, при условии неплотного прилегания иглы к поверхности.
Собственно, простая геометрия.
Надеюсь, что эта простая геометрия приведёт вас к мысли, что для чёткого воспроизведения плоского протяжённого фотошаблона необходимо иметь бесчисленное множество точечных источников света - т.е. рассеяный свет

 

ЮХа, точечный источник и рассеяный свет это небоо и земля в отношении к контраста(рассеяный свет не в пользу контраста). Кроме того рассеяный свет - это клондайк паразитных засветок, как мне каежтся(фотографией занимался почти профессионально и экпонометр "Ленинград" храню как память .

У меня возникла кромольная мысль вместо пакетов с водой снять защитную пленку с фоторезитса и прикатать вмесо нее пленку шаблона... Правда фоторезист кончился. Как куплю - обязательно попробую!

 

ЮХа: Надеюсь, что эта простая геометрия приведёт вас к мысли, что для чёткого воспроизведения плоского протяжённого фотошаблона необходимо иметь бесчисленное множество точечных источников света - т.е. рассеяный свет

Все с точностью до наоборот. Четкие контуры теней дает только точечный источник. ЮХа, вы же классный фотограф, не понимаю, о чем вы...?
Плюсы рассеянного света только в том, что он дает более равномерную засветку по площади платы.

ivasi: вместо пакетов с водой снять защитную пленку с фоторезитса и прикатать вмесо нее пленку шаблона...

Ну, прилипнет она. Как отдирать будете? Вместе с фоторезистом?

Nnick: Есть такая лампочка ! Зовется она ДРШ-100

Уж больно с ней работать страшно! Или нет? Есть опыт?

 

Очевидно, никто мой эксперимент на повторил.
Успехов!

 

ЮХа: Очевидно, никто мой эксперимент на повторил.
Я повторил, и как всегда, опять не понял вашу загадку. Какой вывод надо сделать из сего эксперимента? Ну, тень двигается в зависимости от положения источника света. Эту геометрию вы имеете ввиду? И что? Тень то присутствует, в отличии от полного отсутствия оной при рассеяном свете. При одном и том же расстоянии шаблона от фоторезиста, лучше небольшое смещение зазора между дорожками (зависит от угла падения света), чем полное отсутствие зазора между ними.

 

ЮХа, я тоже повторил, но насколько этот эффект сказывается на слое красителя толщиной сотые доли миллиметра?
Переформулирую вопрос - от чего на шаблоне может падать тень?

Для себя решил сделать УФ панель на сверхярких светодиодах , это конечно не "бесчисленное множество точечных источников света", но равномерность засветки должна быть получше чем у лампы.

 

ivasi: решил сделать УФ панель на сверхярких светодиодах
Вам деньги девать некуда? Высылайте мне, пригодятся.
ivasi: но равномерность засветки должна быть получше чем у лампы
Сколько уж я этих плат переделал, но никогда не страдал из-за неравномерности засветки. Свечу "черной" энергосберегайкой с расстояния 0.5м. Выдержка 15 мин. Размер плат - не более 150мм. Прикиньте, любопытства ради, какая будет неравномерность? Да практически неощутимая! Еще раз хочу подчеркнуть, для точного воспроизведения тонких линий и зазоров между ними, желательно, помимо всего прочего, чтобы источник света был контрастным, т. е. точечным, а не рассеяным. Учтите, что между фотошаблоном и фоторезистом находится еще защитная пленка далеко не нулевой толщины. Так что, как ни прижимай, зазор остается, и при рассеяном освещении всегда будет "подсвет" с боков, что приведет к "утоньшению" тени и искажению реальной ширины. Вопрос только в величине этого "утоньшения". Дело еще в том, что при травлении плат существует еще такая штука, как подтрав, который особенно сильно сказывается при медленном травлении (слабый, холодный, истощенный раствор) и плохом перемешивании. В какой-то степени, при негативном фоторезисте он может скомпенсировать вышесказанное.

 
Страницы: 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 66 67 68 69 70 71 72 73 74 75 76 77 78 79 80 81 82 83 84 85 86 87 88 89 90 91 92 93 94 95 96 97 98 99 100 101 102 103 104 105 106 107 108 109 110 111 112 113 114 115 116 117 118 119 120 121 122 123 124 125 126 127 128 129 130 131 132 133 134 135 136 137 138 139 140 141 142 143 144 145 146 147 148 149 150 151 152 153 154 155 156 157 158 159 160 161 162 163 164 165 166 167 168 169 170 171 172 173 174 175 176 177 178 179 180 181 182 183 184 185 186 187 188 189 190 191 192 193 194 195 196 197 198 199